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大银微系统定位平台赢得台湾优良评价

文章出处:网责任编辑:作者:人气:-发表时间:2013-11-08 13:25:00【


  由大银微系统所开发「平面显示器检测定位平台」与「次微米平面显示器检测定位平台」,能有效降低国内FPD产业对进口设备的依赖性,落实LCD制程设备与技术的自主性。

  大银微系统的「平面显示器检测定位平台」为G5~G10面板电子束检测设备,龙门同动驱动平台,真空用线性马达﹝磁浮马达﹞驱动,最大推力可达1056N,而平台移动速度最大为2.8m/sec,可应用于无尘等级Class100的面板、半导体精密量测仪器及检测设备上。目前为美国知名面板设备厂肯定与采用,已陆续出货给日南韩际知名面板大厂。

  大银微系统研发之LMAP空气轴承定位平台

  而「次微米平面显示器检测定位平台」为G7~G8面板超精密量测设备,采用非接触式线性马达直接驱动,也就是采用自行开发之空气轴承来消除定位运动过程中的摩擦力干扰以及提升运动过程中之稳定性,配用非接触雷射光学式位置回馈,并搭配主动式平台避震,达到奈米级超精密的定位需求。可应用于无尘等级Class100的面板、半导体精密量测仪器、检测设备与面板、半导体曝光设备。

  做为台湾唯一线性马达专业制造厂,大银微系统创立于1997年,致力于精密线性传动与定位控制之相关组件、系统件乃至于设备之研发与制造,完整的产品系列包括各式步进、伺服线性马达、直驱式定位平台,医疗级、一般工业用与消费性产品之线性致动器,磁性尺量测系统及高速、高精度之定位平台等,产业应用层面扩及光电产业、半导体工业、生技医疗、精密自动化等领域。大银微系统具备跨部门的创新研发能力与自动化制程能力,掌握关键机构组件的自制,在SEMICON展世贸一馆摊位B694做展示。